KAFM(0.1㎛)와 KAFU(0.01㎛)를 일체화 - 설치 공간 및 배관 공수를 절감.
압축 공기 내 에어로졸 형태의 기름 입자를 분리 제거.
0.01㎛ 이상의 카본, 먼지 제거.
높은 청정도가 요구되는 정밀 계측기, 클린룸용.